Gela Zuria

Ceit-ek mikrosistemak eta mikrosentsoreak fabrikatzeko teknikekin bateragarria den areto garbiko giroko zerbitzuak eskaintzen ditu. Mikrofabrikazio teknikak substratu lauen gainean ezar daitezke, silizioa, alumina, kuartzoa edo beira mota desberdinen gainean.

Eskainitako Zerbitzuak

  • Orokorrak: substratu lauen PVD edo CVD estaldura, oxido- eta metal-geruzekin, ultramore bidezko fotolitografia, silizioaren oxidazio termikoa, hainbat atmosferatako materialen tratamendu termikoa, film meheen ezaugarrien azterketa (lodiera, zimurtasuna).

  • Mikrogailu biologikoak (bioMEMS) fabrikatzea: Lab-On-A-Chip eta Point of care motako aplikazioetarako mikrogailu biologikoak osorik fabrikatzeko ahalmena (prototipoen diseinua, fabrikazioa eta karakterizazioa).

    • Halaber, su-8n eta edozein motatako gailu mikrofluidikoetan casting-prozesuetarako moldeak diseinatu eta fabrikatzeko aukera ematen du.

    • Azkenik, biosentsoreak garatzeko sputtering tekniken bidez mikroelektrodoak fabrikatzeko gaitasuna ere badu.

  • Substratu lauak ebakitzea: substratu lauak (silizioa, alumina, kuartzoa edo beira mota desberdinak) ebakitzeko gaitasuna, ebakiduraren sakonera kontrolatuz areto garbiko giroan.

  • Silizio-metal eta silizio-pyrex eranskailu anodikoa: Ceit-eko Areto Zuriak silizio-metal eta silizio-pyrex eranskailuak egiteko ekipamendua du, 4 hazbeterainoko substratuetan.

Sala Blanca